这时,梁宋松也半蹲了下来,目光一直盯着主体系统的接驳机构。他想找出故障的原因,证明自己的猜想没有错。
“我们这台光刻机的接驳机构是测绘以后的仿制,没有原始图纸,精度没保障。所以说,就是个接驳机构出了问题。”仔细观察了半天,梁宋松果断的下结论,认为还是光刻机主体系统出了故障。
他这套理论倒是有点道理,可跟两套系统组合以后的质量缺陷有啥联系?
故此,万宁古根本不同意梁宋松的意见,“激光光路系统和光刻机主体系统是刚性连接,跟这套接驳机构有啥关系?”
刚性连接只要保证连接机构的稳定就行,不会对两套机构的性能稳定性造成影响。再说了,这套接驳机构使用液压锁定方式来确保稳定性,根本不会影响光刻机两套系统的稳定性。
万宁古对光刻机的结构非常熟悉,一下子就排除了梁宋松的论断。按照他的设想,众人不要在这套接驳机构的稳定性上做深层挖掘。
这时,眉头紧锁的许振鸣稍稍一抬眉,瞥了一眼身旁的万宁古。“老万,光刻机的震动量、电磁杂波干扰等方面,会不会影响到光刻机的稳定性?”
“嗯…肯定会有影响的。要不然,光刻机的工作环境要求非常高,基础要有防震动设施,现场电磁杂波要做屏蔽措施。”
万宁古皱着眉头说道,心里还在考虑着其他的影响因素。在他看来,这次检测要麻烦许多了,要把光刻机主体系统的组件一一拆开,分开检查测试才行。
而这时,站在不远处的郝宁教授忽然一拍大腿,“我知道是什么原因了,应该是震动波的共振造成的,或者是电磁杂波频率跟激光波的频率有互相干扰。”
郝宁教授是光学专家,在光波学、电磁波学等专业领域是权威人士。他经过许振鸣一提醒,瞬间来了灵感,说出一个让许振鸣感到高深莫测的观点。
光波和电磁波的粒子、波两种形态,许振鸣在自学高中物理的时候有所涉及,可已经早就忘得差不多。而郝宁教授的观点又涉及到量子物理的理论,他哪能搞得懂?
不但许振鸣搞不懂,现场的万宁古和梁宋松两位专家级人物也只能说略懂皮毛。专家都在自己的领域里称雄,出了领域跟平常人的差距不是那么大的。
故此,万宁古激动的站起身来,盯着郝宁教授大声问道:“郝教授,你说说看,这台光刻机的缺陷到底是怎么回事?”
“有这种可能么?”梁宋松此时也半信半疑的站起身来,狐疑目光一直落在郝宁教授的脸上。
郝宁教授此次此刻非常激动,连连点头,“一定是这个问题。还是许董的眼光比较准,一下就能找到这台光刻机的缺陷所在。”一边说话,他一边拿出笔记本,把今天的灵感记录下
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