看了看激动不已的专家教授们,胡明镇却非常冷静。荣誉对于他来说已经不算什么,关键是要把国产第一台光刻机给调试好才最重要。
这台光刻机的两套分系统都已经通过验证,确保没问题。但把这两套系统重新组装起来,并且再次做联动调试,这还是第一次。并且在一帮院士级专家的眼皮子低下操作,胡明镇不得不慎重。
“液压组汇报情况!”他眉头一扬,朝自己的一位弟子看过去。
“液压组没问题,液压站数据一切正常!”
“压缩空气组没问题,风机已经启动,空气包的压力很稳定!”
“照明组一切正常!”
“起重组已经做好准备工作!”
“……”
随着胡明镇的这一声令下,各小组负责人都立即逐个的汇报数据,和设备运行状态。
一番检测下来,这台光刻机的所有分系统都已经做好准备,具备马上对接安装的良好状态。
“开始对接!”胡明镇竖起两个大拇指,按照设备对接组装流程下达开始对接的指令。
嘟…嘟…嘟……
吊装指挥长吹起了口哨,开始指挥叉车工起重,横移。
看到这一幕,刘教授、董教授、单教授等人都不由得屏住呼吸,心情紧张的见证华国第一台KrF光刻机的对接接驳仪式。
随着“啪”的一声响,激光光路系统和光刻机主体系统正式对接好。见胡明镇的团队没有做任何的对位精调就锁定了激光光路系统,刘教授等人都非常吃惊。
“这…这能对准吗?”
“激光光路系统的重量特别大,接驳箱的体积和接触面又这么小,液压锁定时怎么能调节好轴向、水平向、垂直向的误差?”
“我看不明白!”
刘教授等人狐疑的看向胡明镇,表情比桂长树那一组的专家们还要骇然。
他们这帮人都院士级教授,理论水平非常高,即便横跨一个专业还是能说出一二三的。正是因为内行,他们这才更震惊。
“诸位院士不要慌张,我们这套PDIX震动调节系统会自动适应和调节安装精度误差的!”这时,负责解说的梁宋松得意洋洋的一笑。
他用手中的一跟铝合金小细棒,指了指PDIX系统的工作站屏幕,把水平向、垂直向等各项参数的数据位置指示出来。
这时候,负责操作工作站的技术员已经按下启动键,让PDIX系统开始自动调节各项数据。
于此同时,郝宁教授的团队成员们也忙碌起来,启动高精度YMDM三坐标测量仪、高精度YMDM电子水平仪、高精度YMDM激光测距等精密仪器。这些仪器都和测量工作站相连,把测量的数据实时反馈到电脑屏幕上。
“报告胡总,垂直度误差小于0.0000001,水平向误差小于0.0000001……”技术员看着数据,立
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