“老胡,来。咱们一起合影留念!”这时,董教授朝正在观看工作站显示屏的胡明镇,使劲的招手。
“对!这么重要的时刻,咱们一定要记录下来。”
“小梁、老郝,你们都一起来合影留念。”
董教授、单教授等一干院士级专家教授们都非常兴奋,抑制不住内心的激动。他们都在手舞足蹈的说着话。
光刻硅晶圆片的速度非常快,两分钟不到就可以给一片8英寸的硅晶圆片完成曝光流程工艺。因为这次给朱雀·酷睿I芯片做流片工程,其实就是一次测试。胡明镇没安排批量生产,只让手下的团队准备了10片硅晶圆片。
在董教授等人邀请他合影留念的时候,正在工作的KrF光刻机已经完成了给第一片硅晶圆片曝光照相的流程,用时在95秒左右。这个速度在目前来说应该是全球第一,要远远超过那三台从米国运来的KrF光刻机。
不但如此,胡明镇设计的这台第三代光刻机,一直秉承了鸣芯制造公司的传统,采用双工制程工艺,拥有两个工作台。
在刘教授这帮人激动不已手舞足蹈的时候,这台光刻机的激光头已经挪动位置,转到另外一个工作台上开始扫描掩膜片,给硅晶圆片曝光。
于此同时,另外一只检验激光头开始工作,给已经曝光好的硅晶圆片做检验,执行硅晶圆片蚀刻工艺前的验片制程工艺。
这一套制程工艺都是一鸣集团公司的Foundry制程专利技术,一般情况下是不对外开发的。
刘教授、董教授和单教授等一般院士专家,也是沾了光,要向总部首长汇报全国首台第三代光刻机科研成果,才得以在这么机密的环境里近距离观看芯片光刻制程工艺流程。所以这帮人非常激动,有点把持不住自己。
看了看这些个鬓发花白的专家教授,胡明镇含着笑微微一摇头,“老刘,合影留念的事情咱们不着急,等验片结果出来再说吧。”
芯片光刻、验片都是微观的精密工艺,用肉眼是不能检验出结果。只能通过电脑模拟显示光刻流程和验片流程是情况。
梁宋松此时的工作就是在观察芯片扫描光刻的验片数据结果,两只眼睛一眨不眨的盯着工作站的显示屏。突然,他大笑一声,“成了,老师。第一片硅晶片光刻成品率达到百分之一百!”
说完这些,他一跃而起,从电脑转椅上跳了起来。
虽然说光刻流程工艺仅仅是芯片流片制程工艺的第一步,后续的工序仍然会降低芯片成品率,但百之一百的成功率还是值得庆贺的。
“百分一百的成品率?这么厉害?”刘教授听到这个数据,顿时有点瞠目结舌了。
其他的专家教授们也是如此,顿时都跑到那台工作站的显示屏旁边,想要一睹为快。
此时此刻,电脑屏
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